领导倒吸一口冷气,瑟瑟发抖,不敢多问了。
他可以预见,今夜因为这通电话,将会让多少大人物无眠。
一小时后。
京城空军基地,从吉普车内下来的王院士,对身边的国安局特派员嘱咐道:
“总之,里面的内容很震撼!建议你们能按国家最高级机密处理。”
“魔都方面,我会尽快证实!不用送了!”
“走了!”
嘱咐完,王院士迈着坚定的步伐走上了“胖妞”运二零。
“保重!”国安的特派员一脸敬重的目送院士上机,然后低声对助理吩咐道:
“邮箱账号格式是新郎邮箱。”
“现在立刻入驻新郎公司,凡是云端备份那份邮件的服务器,一律搬到局里,对看到邮件的人进行守密训练。”
“其次,让金陵方面的兄弟配合一下,先问一下那位刘院士。”
“最后,好好查查邮件的ip地址。我有预感,刘院士不可能有时间去研究光刻机!”
“务必找到真正发邮件的高人!”
助理手上的笔飞快。
特派员问:“都记下来了?”
助理点头:“记下来了。”
特派员说:“重复一遍!”
助理连忙重复了一句。
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一架运二零在夜色笼罩下飞往魔都,而两架歼20负责伴飞护卫。
机舱内,王院士依旧盯着邮件复印稿,一丝不苟的盯着。
......
魔都微电子装备集团,国家光刻设备工程技术研究中心,灯火通明。
对于【dUV光源技术】的攻克已经到了“临门一脚”的关键时刻。
整个微电光源项目组全体人员鏖战三年八个月日夜,只为今夜。
“孙院士,幸不辱命,Arf(氟化氩)深紫外光的准分子激光器数据,已超越ASmL公司dUV光刻机光源。
“分辨率小于等于65nm,套刻精度小于等于8nm。工业级芯片量产精度28nm!”
随着实验室内的数据最终出炉,下一刻,整个实验室内响起了雷鸣般的掌声。
孙院士,一个传奇人物,有着本国光刻机之父之称。
由他带领的团队,一直默默攻坚克难,从最原始的汞灯光源开始,到KrF光源,如今再到ArF光源。
几乎以一个公司在西方垄断的光刻机市场上逆流而上,创造了如此卓越的成绩。
真正意义上的千里走单骑,过五关斩六将的英雄。
虽然目前光刻机技术已经发展到了7nm,光源技术也从深紫外线dUV,进步到了极紫外线EUV。
但魔都微电这次技术突破,却也是惊天动地,成果喜人。
孙院士摇了摇头,脸上却没什么惊喜,而是对身边的主任问了一句:
“尼康那边谈得怎么样?”
尼康是除了二德子蔡司外,唯一高端光学镜片公司。
光刻机的光源技术除了核心的光源外,还有光学镜片技术,也非常至关重要。
这套技术,蔡司一家独大。
再牛的院士,面对蔡司镜片的工艺,也只能望洋兴叹。
人家一个镜片工人养九代、十代,从一战前养到二次世界大战结束,从冷战养到了现在。
而我们的工人才养了几代?
蔡司镜片在光学镜片界,就是一座珠穆朗玛峰,无法逾越,无法超越。
但人二德子只和老美混,想出口爱莫能助。
所以,为了攻克短板,孙院士的想法是与小日子的尼康合作。
尼康的镜片虽然不如蔡司,却也比国内镜片强。
听到这个问题,张主任脸上的喜悦顿时消失,只能无奈叹了口气:
“谈崩了!”
孙院士皱眉:“没有先进的光学镜片,dUV光源只能发挥50%左右的曝光效果。
“相当于我们在工业级的芯片制程上,只能进步到42nm左右。”
“这个制程很尴尬啊,我的主任!说出去,我们脸往哪放?”
主任苦笑:“小日子的条件,我们无法答应。”
“什么条件?”
“帮助小日子搞核武器!”
“嗤,真把自己当香饽饽了?”
“我们技不如人,就只能被人当凯子!”
“算了,42nm就42nm吧。”
毫无疑问,这个消息给中心所有人心中蒙上了阴影。
之前激动喜悦的情绪顿时荡然无存。
两位大佬刚谈论到这里。
实验室外突然传来一阵脚步声,紧跟着,门就被打开了。
见到来人,孙院士顿时露出了不怀好意的笑容,
“老王,来的正好,分享你一个惊喜!”
王院士神情虽然有些疲倦,但还是强打起精神哈哈一笑,拿着陆凡邮件的光刻机复印件走了过来:
“巧了,我也有个惊喜想给你分享分享!”
“杯子拿稳了!”
孙院士暗暗摇头,心想,你们能有什么好消息?不会又是一些鸡毛碎皮的小突破吧?
心里虽然这么想,但表面上依旧一团和气道:
“我们俩谁先说?”
“你年纪大,你先吧!”王院士呵呵道。
孙院士不爽了,“你年纪小,你先说。”
“那好,我不客气了!”王院士笑眯眯的将复印件递了过去。
孙院士翻看着复印件,一开始还非常不屑一顾。
1nmx射线光刻机光源技术?
开什么玩笑!
x射线虽然波长比EUV极紫外线更短,精度更高。
但不稳定性和不连续性却是个天大的麻烦。
有攻克这个难题的功夫,本国早就把光刻机的技术精度推到10nm了。
“拓子晶体激发的量子限域高次谐波x射线扑光子晶体激发的量子限域高次谐波x射线光源,基于量子点超晶格与自聚焦等离子体通道的1nm波段相干光源!
“采用飞秒激光(脉宽5fs,峰值功率10pw)轰击氖\/氪混合气体靶,诱导多体量子隧穿效应,产生高亮度宽谱x射线(0.5-2nm)。
“通过自旋轨道耦合调制,使等离子体形成周期性涡旋结构,提升高次谐波转化效率至~5x10??(传统hhG的50倍.......”
看着看着,孙院士脸上的不屑瞬间凝固,只感觉头皮发麻,手上拿着的咖啡杯顿时落在地上,摔碎。
卧槽!
这是哪个妖孽设计的光源系统?
太精妙了!
有些地方简直让他茅塞顿开,灵感迸发,差点就要当场来个‘龙场悟道’。
不过,自己的那些灵感与人家这份技术上的思路,还是差太远了。
看完后,孙院士有些意犹未尽,
“按照上面的流程和方案,完全可行,足以解决x射线光源的不稳定性和不持续性的毛病。”
“理论上,x射线的分辨率小于等于0.1nm,套刻精度小于等于0.3nm。工业级芯片量产精度至少0.4nm!”
“哪怕我国的物镜工艺再差劲,计算上光精度损耗,工业级芯片的精度可以实现1nm!完全不需要什么高精尖光学透镜。
“甚至还能反过来倒逼光学透镜产业,让蔡司、尼康统统滚出光刻市场!”
“老王,这是美国哪位天才设计的光源系统?到光学元件表面镀制单层二硫化钼\/石墨烯异质结,利用热电子超扩散效应后,怎么没有下文了?”
在孙院士眼里,只有美国的天才才能设计出如此巧妙且牛逼的光源系统。
至于国内的天才,他倒不是崇洋媚外,而是真不行。
这和科研环境有非常大的关系。
王院士摇了摇头:
“国内一个医学院士写的东西,正主还在查。但应该不是美国人。”
“医生?”孙院士感觉自己的脑子仿佛被锤子给砸了一下,脑瓜子嗡嗡嗡的。
什么时候医生都能跑过来研究光刻机,而且还比他们这些专业人士还猛?
这特么是哪位弃医从芯的天降猛人?要不要这么猛啊,上来就搞1nm光刻机光源。各咱们留个活路吧!
瑟瑟发抖。
孙院士开始瑟瑟发抖了。
如果他知道陆凡有一整套1nm光刻机的技术,恐怕会更震惊。
“这下见识到人外有人,天外有天了吧?”王院士深有同感的拍了拍老孙的肩膀,问道:
“技术怎么样?能不能应用?”
应用,也就是直接从理论论证,转入工业量产。
一般而言,这个过程往往需要数年时间。
王院士主理论,孙院士主应用。
陆凡的1nm光刻机光源技术,王院士觉得理论上没问题,所以才会来询问孙院士。
孙院士摇了摇头:
“不是能不能应用。
“而是,你看到的就是正宗工业应用量产技术流程,能直接用于工业生产的指导!”
“随便一家美国企业,只要按照上面的步骤,就能造出x射线光源。”
“这种技术价值无可估量!”
“我们可能捡到宝了!”
“对了,你怎么没把那位大佬请过来?”
王院士大吃一惊,忍不住爆了一句粗口:“卧槽!”
“不好!”
孙院士眉头一皱。
王院士一言不发,拉着他就往实验室外走。
一边走,一边嘀咕道:
“事情大条了,这位用的企业邮箱发送,真是心大!”
“你我两人必须立刻进京,面见大首长!”
“让国安那边抓点紧,尽快找到那位发邮件的大佬。如果让老美发现,后果不堪设想!”
孙院士脸色也变了。
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京城时间:12:12分!
这本是历史上一个平平无奇的日子,距离本年国庆结束也不过十天时间。
然而,在这个普通的日子里。
两位国内最权威的半导体领域的院士双双进京。
恢弘的会客厅内,灯火通明,没人知道这里谈论了什么内容。
只知道,大首长们往日愁眉不展的脸上终于阴霾散去。
只知道,全国各大半导体龙头、手机龙头、新能源,以及部分设计雷达、指挥系统芯片的军工企业都接到了一份参加级别很高的政策会议邀请。
此外。
还有一件事!
那就是大首长们要见一见,这位能力挽本国芯片半导体狂澜于倒悬的“医生高人”!